冷却是达到热处理加工目的的重要过程。

  在淬火过程中，冷却是达到热处理目的的重要工序。为了在真空热处理过程中保持工件的优良特性，冷却剂的选择和配方以及冷却工艺非常重要。一般采用油冷冷却和风冷冷却。
  油冷是一种高性能、高价格的冷却方式。在真空条件下，冷却油的冷却能力低于正常大气压下的冷却能力，这主要是由于工件表面的蒸汽膜增厚，影响了冷却油的冷却能力。随着真空淬火油的不断完善，冷却油的冷却强度随着油表面气体压力的降低而降低，比普通淬火油小得多。此外，淬火油的冷却强度可以通过冲洗气体来调节油表面的气体压力来调节。在保证工件淬火程度的前提下，冷却速度尽量低，以减少工件的应力和变形。
  气体冷却可以更好地保持真空加热工件良好的表面状态，减少液体冷却剂(真空淬火油)在真空淬火热处理设备中所占的空间，简化真空淬火操作过程。空气淬火主要考虑的是其冷却速度，与气体的种类、气体压力、气体流量、加热设备的结构有关。